Interpolated local model fitting method for accurate and fast single-shot surface profiling

• 期刊名称ao/48/18/ao-48-18-3497.pdf
• 作者Yokota, Tatsuya; Sugiyama, Masashi; Ogawa, Hidemitsu; Kitagawa, Katsuichi; Suzuki, Kazuyoshi
• 卷第48卷
• 期第18期
• 印刷ISSN0003-6935
• 电子ISSN1539-4522
• 文件大小1447.51KB
• 发表时间2009
• DOI10.1364/AO.48.003497