Improved model-based infrared reflectrometry for measuring deep trench structures

• 期刊名称josaa/26/11/josaa-26-11-2327.pdf
• 作者Zhang, Chuanwei; Liu, Shiyuan; Shi, Tielin; Tang, Zirong
• 卷第26卷
• 期第11期
• 印刷ISSN1084-7529
• 电子ISSN1520-8532
• 文件大小756.25KB
• 发表时间2009
• DOI10.1364/JOSAA.26.002327