Three dimensional silicon photonic crystals fabricated by two photon phase mask lithography
Shir, D.; Nelson, E. C.; Chen, Y. C.; Brzezinski, A.; Liao, H.; Braun, P. V.; Wiltzius, P.; Bogart, K. H. A.; Rogers, J. A.
- 期刊名称Applied Physics Letters
- 作者Shir, D.; Nelson, E. C.; Chen, Y. C.; Brzezinski, A.; Liao, H.; Braun, P. V.; Wiltzius, P.; Bogart, K. H. A.; Rogers, J. A.
- 卷第94卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0003-6951
- 文件大小1523.66KB
- 发表时间2009
- DOI10.1063/1.3036955