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Vacancies and Self-Interstitials Dynamics in Silicon Wafers

Vacancies and Self-Interstitials Dynamics in Silicon Wafers

Caha, O.; Kuběna, J.; Kuběna, A.; Meduňa, M.

期刊名称Solid State Phenomena
作者Caha, O.; Kuběna, J.; Kuběna, A.; Meduňa, M.
电子ISSN1662-9779
文件大小505.92KB
发表时间2009-10
DOI10.4028/www.scientific.net/SSP.156-158.139
页码139-144

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