Duplication of nanoimprint templates by a novel SU-8/SiO[sub 2]/PMMA trilayer technique
J. Wan; Z. Shu; S. Deng; S. Xie; B. Lu; R. Liu; Y. Chen; X. Qu
- 作者J. Wan; Z. Shu; S. Deng; S. Xie; B. Lu; R. Liu; Y. Chen; X. Qu
- 文件大小720.47KB
- 发表时间2009
- DOI10.1116/1.3039687