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Effect of DC bias on microstructural rearrangement of a-SiN:H films on PET substrate

Effect of DC bias on microstructural rearrangement of a-SiN:H films on PET substrate

Bibhu P. Swain; Bhabani S. Swain; Nong M. Hwang

作者Bibhu P. Swain; Bhabani S. Swain; Nong M. Hwang
卷第255卷
期第23期
印刷ISSN0169-4332
文件大小485.72KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.apsusc.2009.07.041
页码9391-9395

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