Microstructures in directly bonded Si substrates

• 作者Y. Ohara; T. Ueda; A. Sakai; O. Nakatsuka; M. Ogawa; S. Zaima; E. Toyoda; H. Isogai; T. Senda; K. Izunome; H. Tajiri; O. Sakata; S. Kimura; T. Sakata; H. Mori
• 卷第53卷
• 期第8期
• 印刷ISSN0038-1101
• 文件大小833.57KB
• 发表时间2009
• DOI10.1016/j.sse.2009.04.026
• 页码837-840