Planarization of Nonmagnetic Films on Bit Patterned Substrates by Gas Cluster Ion Beams

• 作者Nagato, K.; Hoshino, H.; Naito, H.; Hirota, T.; Tani, H.; Sakane, Y.; Toyoda, N.; Yamada, I.; Nakao, M.; Hamaguchi, T.
• 卷第46卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0018-9464
• 电子ISSN1941-0069
• 文件大小426.76KB
• 发表时间2010
• DOI10.1109/tmag.2010.2044379
• 页码2504-2506