3-D CMOS Circuits Based on Low-Loss Vertical Interconnects on Parylene-N

• 作者Lahiji, R.R.; Sharifi, H.; Katehi, L.P.B.; Mohammadi, S.
• 卷第58卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0018-9480
• 电子ISSN1557-9670
• 文件大小1492.96KB
• 发表时间2010
• DOI10.1109/tmtt.2009.2036394
• 页码48-56