Selection of rare earth silicates for highly scaled gate dielectrics

K. Kakushima; K. Okamoto; T. Koyanagi; M. Kouda; K. Tachi; T. Kawanago; J. Song; P. Ahmet; K. Tsutsui; N. Sugii; T. Hattori; H. Iwai

作者K. Kakushima; K. Okamoto; T. Koyanagi; M. Kouda; K. Tachi; T. Kawanago; J. Song; P. Ahmet; K. Tsutsui; N. Sugii; T. Hattori; H. Iwai
卷第87卷
期第10期
印刷ISSN0167-9317
文件大小305.88KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.mee.2009.11.001
页码1868-1871

发现好书期刊，享受阅读乐趣