Novel micromirror design with variable pull-in voltage

Roel Beernaert; Tomas Podprocky; Jeroen De Coster; Ann Witvrouw; Luc Haspeslagh; Aykut Avci; Jelle De Smet; Herbert De Smet

作者Roel Beernaert; Tomas Podprocky; Jeroen De Coster; Ann Witvrouw; Luc Haspeslagh; Aykut Avci; Jelle De Smet; Herbert De Smet
卷第87卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小643.80KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.mee.2009.11.104
页码1248-1252

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