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Improved local oxidation of silicon carbide using atomic force microscopy

Improved local oxidation of silicon carbide using atomic force microscopy

Y. Jo; S. Seo; W. Bahng; S. Kim; N. Kim; S. Kim; S. Koo

作者Y. Jo; S. Seo; W. Bahng; S. Kim; N. Kim; S. Kim; S. Koo
文件大小605.88KB
发表时间2010
DOI10.1063/1.3327832

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