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Dopant incorporation in thin strained Si layers implanted with Sb

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A.Yu. Azarov; A. Zamani; H.H. Radamson; L. Vines; A.Yu. Kuznetsov; A. Hallén

作者A.Yu. Azarov; A. Zamani; H.H. Radamson; L. Vines; A.Yu. Kuznetsov; A. Hallén
卷第518卷
期第9期
印刷ISSN0040-6090
文件大小426.93KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.tsf.2009.09.160
页码2474-2477

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