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Scanning probe nanoimprint lithography
F. Dinelli; C. Menozzi; P. Baschieri; P. Facci; P. Pingue
作者
F. Dinelli; C. Menozzi; P. Baschieri; P. Facci; P. Pingue
文件大小
1059.91KB
发表时间
2010
DOI
10.1088/0957-4484/21/7/075305
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