Ultra-precision Figured 4H-SiC(0001) Surfaces
HATTORI, Azusa N.; OKAMOTO, Takeshi; SADAKUNI, Shun; MURATA, Junji; ARIMA, Kenta; SANO, Yasuhisa; ENDO, Katsuyoshi; YAMAUCHI, Kazuto
- 期刊名称Hyomen Kagaku
- 作者HATTORI, Azusa N.; OKAMOTO, Takeshi; SADAKUNI, Shun; MURATA, Junji; ARIMA, Kenta; SANO, Yasuhisa; ENDO, Katsuyoshi; YAMAUCHI, Kazuto
- 卷第31卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0388-5321
- 电子ISSN1881-4743
- 文件大小1525.07KB
- 发表时间2010
- DOI10.1380/jsssj.31.466
- 页码466-473