Dependence of tracking error characteristics on objective lens shift for in-line-type differential push-pull methods using segmented gratings

• 作者Masahisa Shinoda; Kenya Nakai; Nobuo Takeshita
• 卷第17卷
• 期第4期
• 印刷ISSN1340-6000
• 电子ISSN1349-9432
• 文件大小242.98KB
• 发表时间2010-07
• DOI10.1007/s10043-010-0066-8
• 页码360-366