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High-Power Inductively Coupled Impulse Sputtering Glow Plasma

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Yukimura, Ken; Ogiso, Hisato; Nakano, Shizuka; Ehiasarian, Arutiun P.
  • 作者Yukimura, Ken; Ogiso, Hisato; Nakano, Shizuka; Ehiasarian, Arutiun P.
  • 卷第39卷
  • 期第11期
  • 印刷ISSN0093-3813
  • 电子ISSN1939-9375
  • 文件大小920.86KB
  • 发表时间2011
  • DOI10.1109/tps.2011.2160409
  • 页码3085-3094
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