A piezoelectric single-crystal ultrasonic microactuator for driving optics
- 作者Mingsen Guo; Shuxiang Dong; Bo Ren; Haosu Luo
- 卷第58卷
- 期第12期
- 文件大小1159.56KB
- 发表时间2011
- DOI10.1109/tuffc.2011.2136
- 页码2737-2742
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