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• 期刊名称Plasma Sources Science and Technology
• 卷第20卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0963-0252
• 电子ISSN1361-6595
• 文件大小202.05KB
• 发表时间2011-12-01
• DOI10.1088/0963-0252/20/6/069901