LOW DIELECTRIC CONSTANT MATERIALS IN MICRO- AND NANOELECTRONICS

ARKHINCHEEV VALERIY YEFIMOVICH,BAKLANOV MIKHAIL RODIONOVICH

期刊名称Ученые записки Забайкальского государственного университета. Серия: Физика, математика, техника, технология
作者ARKHINCHEEV VALERIY YEFIMOVICH,BAKLANOV MIKHAIL RODIONOVICH
期第3期
印刷ISSN2308-8761
电子ISSN2308-8761
文件大小591.10KB
发表时间2011
DOI10.0000/cyberleninka.ru/article/n/low-dielectric-constant-materials-in-micro-and-nanoelectronics

发现好书期刊，享受阅读乐趣