New generation of Self Ionized Plasma copper seed for sub 40 nm nodes

J. Guillan; K. Haxaire; S. Chhun; E. Richard; M.C. Luche; L. Arnaud; E. Petitprez; C. Monget; D. Galpin; P. Normandon

作者J. Guillan; K. Haxaire; S. Chhun; E. Richard; M.C. Luche; L. Arnaud; E. Petitprez; C. Monget; D. Galpin; P. Normandon
卷第88卷
期第5期
印刷ISSN0167-9317
文件大小539.55KB
发表时间2011
DOI10.1016/j.mee.2010.07.035
页码697-700

发现好书期刊，享受阅读乐趣