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HF contamination of 200 mm Al wafers: A parallel angle resolved XPS study

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B. Pelissier; H. Fontaine; A. Beaurain; A. Danel; O. Joubert

作者B. Pelissier; H. Fontaine; A. Beaurain; A. Danel; O. Joubert
卷第88卷
期第6期
印刷ISSN0167-9317
文件大小480.51KB
发表时间2011
DOI10.1016/j.mee.2010.11.004
页码861-866

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