Accuracy of color determination from spectroscopic ellipsometry measurements
- 作者Blaine Johs; Hans Arwin; Thomas Wagner; David Appel; Dimitrios Peros
- 卷第519卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0040-6090
- 文件大小301.35KB
- 发表时间2011
- DOI10.1016/j.tsf.2010.12.058
- 页码2711-2714
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