Fabrication of Silicon Nano-wire by Oxidation
- 期刊名称Key Engineering Materials
- 作者Wang, Xiao Fei; Zhang, Yu Fei; Yu, Kan; Yu, Xiao Mei
- 卷第483卷
- 电子ISSN1662-9795
- 文件大小422.00KB
- 发表时间2011-6
- DOI10.4028/www.scientific.net/KEM.483.565
- 页码565-568
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