Structure Analyses of Ti-Based Self-Formed Barrier Layers
K. Kohama; K. Ito; Y. Sonobayashi; K. Ohmori; K. Mori; K. Maekawa; Y. Shirai; M. Murakami
- 作者K. Kohama; K. Ito; Y. Sonobayashi; K. Ohmori; K. Mori; K. Maekawa; Y. Shirai; M. Murakami
- 文件大小724.96KB
- 发表时间2011
- DOI10.1143/JJAP.50.04DB03