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Study on ultrasonic-assisted chemical mechanical polishing

Study on ultrasonic-assisted chemical mechanical polishing

Tso, Pei Lum; Tung, Chieh
  • 期刊名称International Journal of Abrasive Technology
  • 作者Tso, Pei Lum; Tung, Chieh
  • 卷第4卷
  • 期第2期
  • 印刷ISSN1752-2641
  • 电子ISSN1752-265X
  • 文件大小665.56KB
  • 发表时间2011
  • DOI10.1504/IJAT.2011.043083
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