Fabrication of Source/Drain Electrodes for a-Si:H Thin-Film Transistors Using a Single Cu Alloy Target

• 作者J. H. Lee; C. Y. Lee; H. S. Nam; J. G. Lee; H. J. Yang; W. J. Ho; J. Y. Jeong; D. H. Koo
• 卷第40卷
• 期第11期
• 印刷ISSN0361-5235
• 电子ISSN1543-186X
• 文件大小1808.04KB
• 发表时间2011-11
• DOI10.1007/s11664-011-1728-4
• 页码2209-2213