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Characterization of silicon ion-implanted GaN and AlGaN

Characterization of silicon ion-implanted GaN and AlGaN

Kazuki Nomoto; Yuki Toyoda; Masataka Satoh; Taroh Inada; Tohru Nakamura

作者Kazuki Nomoto; Yuki Toyoda; Masataka Satoh; Taroh Inada; Tohru Nakamura
卷第272卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小518.60KB
发表时间2012
DOI10.1016/j.nimb.2011.01.047
页码125-127

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