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Mechanical and Electronic Amplitude-Limiting Techniques in a MEMS Resonant Accelerometer

Mechanical and Electronic Amplitude-Limiting Techniques in a MEMS Resonant Accelerometer

Tocchio, A.; Caspani, A.; Langfelder, G.

作者Tocchio, A.; Caspani, A.; Langfelder, G.
卷第12卷
期第6期
印刷ISSN1530-437X
电子ISSN1558-1748
文件大小1870.94KB
发表时间2012
DOI10.1109/jsen.2011.2177657

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