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Measurement of electrical properties of materials under the oxide layer by microwave-AFM probe

Measurement of electrical properties of materials under the oxide layer by microwave-AFM probe

Lan Zhang, Yang Ju, Atsushi Hosoi, Akifumi Fujimoto

作者Lan Zhang, Yang Ju, Atsushi Hosoi, Akifumi Fujimoto
卷第18卷
期第11期
文件大小479.37KB
发表时间2012-11
DOI10.1007/s00542-012-1512-2
页码1917-1922

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