Atomic layer deposition
- 期刊名称Semiconductor Science and Technology
- 作者Godlewski, Marek
- 卷第27卷
- 期第7期
- 印刷ISSN0268-1242
- 电子ISSN1361-6641
- 文件大小39.63KB
- 发表时间2012-07-01
- DOI10.1088/0268-1242/27/7/070301
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