Low-k Integration Using Metallic Hard Masks
Joubert, O.; Possémé, Nicolas; Chevolleau, Thierry; David, Thibaut; Darnon, M.
- 期刊名称Solid State Phenomena
- 作者Joubert, O.; Possémé, Nicolas; Chevolleau, Thierry; David, Thibaut; Darnon, M.
- 卷第187卷
- 电子ISSN1662-9779
- 文件大小265.95KB
- 发表时间2012-4
- DOI10.4028/www.scientific.net/SSP.187.193
- 页码193-195