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MEMS Reliability Review

Huang, Yunhan; Sai Sarathi Vasan, Arvind; Doraiswami, Ravi; Osterman, Michael; Pecht, Michael

期刊名称IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
作者Huang, Yunhan; Sai Sarathi Vasan, Arvind; Doraiswami, Ravi; Osterman, Michael; Pecht, Michael
卷第12卷
期第2期
印刷ISSN1530-4388
电子ISSN1558-2574
文件大小591.53KB
发表时间2012-06
DOI10.1109/TDMR.2012.2191291
页码482-493