Integriertes Plasma-Monitoring
- 期刊名称JOT Journal für Oberflächentechnik
- 作者Thomas Struppert,Oliver Beier,Kerstin Horn…
- 卷第52卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0940-8789
- 电子ISSN2192-869X
- 文件大小1047.80KB
- 发表时间2012-09
- DOI10.1365/s35144-012-0468-4
- 页码78-81
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