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High $Q$ Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process

Wu, Guoqiang; Xu, Dehui; Xiong, Bin; Wang, Yuelin
  • 期刊名称IEEE Sensors Journal
  • 作者Wu, Guoqiang; Xu, Dehui; Xiong, Bin; Wang, Yuelin
  • 卷第12卷
  • 期第7期
  • 印刷ISSN1530-437X
  • 电子ISSN1558-1748
  • 文件大小234.91KB
  • 发表时间2012-07
  • DOI10.1109/jsen.2012.2191772
  • 页码2414-2415
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