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A Descum Review for Cleaning Surfaces in Polymer Embedded Process Flows

Jamieson, G.; Gerets, C.; Duval, F.C.; Pham, N.P.; Iker, F.; Funaya, T.; Boullart, Werner

期刊名称Solid State Phenomena
作者Jamieson, G.; Gerets, C.; Duval, F.C.; Pham, N.P.; Iker, F.; Funaya, T.; Boullart, Werner
卷第187卷
电子ISSN1662-9779
文件大小1619.78KB
发表时间2012-4
DOI10.4028/www.scientific.net/SSP.187.215
页码215-218