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Generating large-area uniform microwave field for plasma excitation

Generating large-area uniform microwave field for plasma excitation

Chang, T. H.; Chen, N. C.; Chao, H. W.; Lin, J. C.; Huang, C. C.; Chen, C. C.

期刊名称Physics of Plasmas
作者Chang, T. H.; Chen, N. C.; Chao, H. W.; Lin, J. C.; Huang, C. C.; Chen, C. C.
卷第19卷
期第3期
印刷ISSN1070-664X
文件大小1724.64KB
发表时间2012
DOI10.1063/1.3692231

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