Room-temperature deposition of transparent conductive Al-doped ZnO thin films using low energy ion bombardment

• 作者C. G. Jin; T. Yu; Z. F. Wu; F. Wang; M. Z. Wu; Y. Y. Wang; Y. M. Yu; L. J. Zhuge; X. M. Wu
• 卷第106卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0947-8396
• 电子ISSN1432-0630
• 文件大小774.61KB
• 发表时间2012-03
• DOI10.1007/s00339-011-6722-4
• 页码961-966