A highQmicromachined single crystal silicon bulk mode resonator with pre-etched cavity
- 作者Guoqiang Wu; Dehui Xu; Bin Xiong; Yuelin Wang
- 卷第18卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小467.05KB
- 发表时间2012-01
- DOI10.1007/s00542-011-1372-1
- 页码25-30
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