[Advanced Micro and Nanosystems] System-Level Modeling of MEMS (Bechtold/System-Level Modeling of MEMS) || A Web-Based Community for Modeling and Design of MEMS
- 作者Bechtold, Tamara; Schrag, Gabriele; Feng, Lihong
- 文件大小209.02KB
- 发表时间2013
- DOI10.1002/9783527647132.ch22
- 页码501-517
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