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On anomalous temporal evolution of gas pressure in inductively coupled plasma

On anomalous temporal evolution of gas pressure in inductively coupled plasma

Seo, B. H.; You, S. J.; Kim, J. H.; Seong, D. J.; Chang, H. Y.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Seo, B. H.; You, S. J.; Kim, J. H.; Seong, D. J.; Chang, H. Y.
卷第102卷
期第13期
印刷ISSN0003-6951
文件大小952.06KB
发表时间2013
DOI10.1063/1.4798587

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