Semiconductor manufacturing
Chen, F. Frank; Chien, Chen-Fu; Wang, Yi-Chi
- 期刊名称Flexible Services and Manufacturing Journal
- 作者Chen, F. Frank; Chien, Chen-Fu; Wang, Yi-Chi
- 卷第25卷
- 期第3期
- 印刷ISSN1936-6582
- 电子ISSN1936-6590
- 文件大小102.54KB
- 发表时间2013-09
- DOI10.1007/s10696-012-9165-0
- 页码283-285