Robust Trilayer Patterning Technique
Zhu, Z.; Weigand, M.; Krishnamurthy, V.; Sullivan, D.
- 期刊名称ECS Transactions
- 作者Zhu, Z.; Weigand, M.; Krishnamurthy, V.; Sullivan, D.
- 卷第52卷
- 期第1期
- 印刷ISSN1938-6737
- 电子ISSN1938-5862
- 文件大小936.24KB
- 发表时间2013-03-08
- DOI10.1149/05201.0251ecst
- 页码251-257