High quality factor mg-scale silicon mechanical resonators for 3-mode optoacoustic parametric amplifiers

Torres, F. A.; Meng, P.; Ju, L.; Zhao, C.; Blair, D. G.; Liu, K.-Y.; Chao, S.; Martyniuk, M.; Roch-Jeune, I.; Flaminio, R.; Michel, C.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Torres, F. A.; Meng, P.; Ju, L.; Zhao, C.; Blair, D. G.; Liu, K.-Y.; Chao, S.; Martyniuk, M.; Roch-Jeune, I.; Flaminio, R.; Michel, C.
卷第114卷
期第1期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1170.54KB
发表时间2013
DOI10.1063/1.4812731

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