Конструктивно-технологические решения по исключению вакуумплотного барьера для высокотемпературных датчиков абсолютного давления на структуре «Поликремний диэлектрик»

• 期刊名称Труды Международного симпозиума «Надежность и качество»
• 作者Волков В. С.,Федулов А. В.
• 印刷ISSN2220-6418
• 文件大小219.71KB
• 发表时间2013
• DOI10.0000/cyberleninka.ru/article/n/konstruktivno-tehnologicheskie-resheniya-po-isklyucheniyu-vakuumplotnogo-bariera-dlya-vysokotemperaturnyh-datchikov-absolyutnogo