2-DOF vibratory gyroscope fabricated by SU-8 based UV-LIGA process
- 期刊名称Microsystem Technologies
- 作者Jain, Ankush; Gopal, Ram
- 卷第20卷
- 期第7期
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小736.72KB
- 发表时间2014-07-29
- DOI10.1007/s00542-013-1986-6
- 页码1291-1297
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