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Nanoindentation fracture and fatigue characterization of PECVD silicon nitride films subjected to rapid thermal annealing

Nanoindentation fracture and fatigue characterization of PECVD silicon nitride films subjected to rapid thermal annealing

Huang, Zhi-Kai; Chen, Kuo-Shen
  • 期刊名称Sensors and Actuators A: Physical
  • 作者Huang, Zhi-Kai; Chen, Kuo-Shen
  • 卷第207卷
  • 印刷ISSN0924-4247
  • 文件大小6830.48KB
  • 发表时间2014-03
  • DOI10.1016/j.sna.2013.12.023
  • 页码49-60
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