Ferrofluid Sacrificial Microfabrication of Capacitive Pressure Sensors

• 期刊名称IEEE Sensors Journal
• 作者Assadsangabi, Babak; Chen, Xing; Brox, Daniel; Takahata, Kenichi
• 卷第14卷
• 期第10期
• 印刷ISSN1530-437X
• 电子ISSN1558-1748
• 文件大小1729.79KB
• 发表时间2014-10
• DOI10.1109/jsen.2014.2342716
• 页码3442-3447