Quantification of phosphorus diffusion and incorporation in silicon nanocrystals embedded in silicon oxide

Mastromatteo, M.; Arduca, E.; Napolitani, E.; Nicotra, G.; De Salvador, D.; Bacci, L.; Frascaroli, J.; Seguini, G.; Scuderi, M.; Impellizzeri, G.; Spinella, C.; Perego, M.; Carnera, A.

期刊名称Surface and Interface Analysis
作者Mastromatteo, M.; Arduca, E.; Napolitani, E.; Nicotra, G.; De Salvador, D.; Bacci, L.; Frascaroli, J.; Seguini, G.; Scuderi, M.; Impellizzeri, G.; Spinella, C.; Perego, M.; Carnera, A.
卷第46卷
印刷ISSN0142-2421
文件大小844.81KB
发表时间2014-11
DOI10.1002/sia.5578
页码393-396

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Quantification of phosphorus diffusion and incorporation in silicon nanocrystals embedded in silicon oxide