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Effects of O<sub>2</sub> and N<sub>2</sub> Flow Rate on the Electrical Properties of Fe-O-N Thin Films

Effects of O₂ and N₂ Flow Rate on the Electrical Properties of Fe-O-N Thin Films

Ogawa, Yukiko; Ando, Daisuke; Sutou, Yuji; Koike, Junichi

期刊名称MATERIALS TRANSACTIONS
作者Ogawa, Yukiko; Ando, Daisuke; Sutou, Yuji; Koike, Junichi
卷第55卷
期第10期
印刷ISSN1345-9678
电子ISSN1347-5320
文件大小1110.65KB
发表时间2014
DOI10.2320/matertrans.m2014089
页码1606-1610

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